單位 | 標案名稱 | 類型 | 標案金額 | 招標日期 | 決標日期 | 得標廠商 | 原始公告 |
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| 國立陽明交通大學 | 真空快速升溫退火系統二套 | 公開招標公告 | 11,600,000 | 2025-05-14 | 2025-06-09 | 決標公告 | |
| 國立清華大學 | 多腔體物理氣相沉積系統一套 | 公開招標公告 | 37,350,700 | 2025-05-05 | 2025-06-23 | 決標公告 | |
| 國立陽明交通大學 | 研發型多波長光學量測系統之快速模組化橢圓偏振儀系統一套 | 2,000,000 | 2025-01-14 | 2025-01-14 | 決標公告 | ||
| 中央研究院 | 原位多功物理氣相沉積系統 | 4,431,000 | 2024-06-28 | 2024-06-28 | 決標公告 | ||
| 國立清華大學 | 高階原子層化學氣相沈積系統一套 | 公開招標公告 | 4,000,000 | 2015-02-06 | 2015-03-09 | 決標公告 |