| 國立陽明交通大學 | 原子層蝕刻系統一套 | 2024-12-02 | |
| 中央研究院 | 多腔體真空濺鍍與乾蝕刻系統 | 2024-11-01 | |
| 中央研究院 | 已採購設備「超高真空金屬與氧化物薄膜濺鍍系統暨高準直性乾式蝕刻系統一套（案號：113000002）」設備托運案 | 2024-10-23 | |
| 中央研究院 | 超高真空金屬與氧化物薄膜濺鍍系統暨高準直性乾式蝕刻系統一套 | 2024-06-25 | |
| 國立臺灣大學 | 感應耦合電漿反應離子蝕刻機 | 2024-06-07 | |
| 國立高雄科技大學 | 反應離子蝕刻系統 | 2024-05-10 | |
| 中央研究院 | 超高真空金屬與氧化物薄膜濺鍍系統暨高準直性乾式蝕刻系統一套 | 2023-12-26 | |
| 中央研究院 | 旋轉蝕刻清洗暨電漿蝕刻後旋轉清洗設備 | 2023-12-25 | |
| 財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心 | 矽晶圓感應耦合電漿離子蝕刻機乙套 | 2023-12-01 | |
| 國立屏東大學 | 「反應離子蝕刻系統」財物採購案 | 2023-08-17 | |
| 中央研究院 | 旋轉蝕刻機 | 2022-11-30 | |
| 中央研究院 | 原子層沉積暨蝕刻系統 | 2022-11-25 | |
| 中央研究院 | 蒸氣式氫氟酸蝕刻機一套 | 2022-11-18 | |
| 國立成功大學 | 感應耦合式高密度電漿蝕刻系統壹式 | 2022-05-05 | |
| 國立屏東大學 | 「反應電漿蝕刻系統」財物採購案 | 2022-04-19 | |
| 感應式電漿反應離子蝕刻機台 | 2021-12-14 | |
| 中央研究院 | 深反應性離子蝕刻系統 | 2021-12-14 | |
| 國立清華大學 | 電漿反應離子蝕刻設備1式 | 2021-12-09 | |
| 金屬蝕刻系統一套 | 2021-10-07 | |
| 國立陽明交通大學 | 電漿離子蝕刻機台 | 2021-08-20 | |
| 國立陽明交通大學 | 矽淺蝕刻系統一套 | 2021-05-19 | |
| 國立交通大學 | 介電質蝕刻系統一套 | 2020-03-19 | |
| 私立長庚大學 | 感應耦合電漿蝕刻機 詳規範:JJ1008 共1ST | 2019-11-08 | |
| 國立清華大學 | TEM試片電漿原子層蝕刻及沉積製程系統 | 2019-05-21 | |
| 中央印製廠 | 蝕刻刀模1式 | 2019-05-07 | |
| 財團法人國家實驗研究院奈米元件實驗室 | 智慧終端關鍵技術多腔體多功能蝕刻設備 | 2018-11-07 | |
| 國立交通大學 | 碳化矽蝕刻系統 | 2018-07-23 | |
| 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心 | 研發用原子層蝕刻製程真空腔體 | 2018-05-07 | |
| 財團法人國家實驗研究院奈米元件實驗室 | 低損傷磊晶蝕刻機 | 2017-11-01 | |
| 國立成功大學 | 高真空電漿蝕刻系統壹組 | 2017-04-26 | |
| 國立成功大學 | 電漿蝕刻系統(ICP)特殊氣體管路配置 | 2016-09-07 | |
| 國立交通大學 | 導電性材料活性離子蝕刻系統 | 2016-03-31 | |
| 國立成功大學 | 中性束蝕刻與化學汽相沉積(NBE)壹台 | 2015-10-02 | |
| 國立高雄海洋科技大學 | 反應離子蝕刻系統採購案 | 2015-08-06 | |