單位 | 標案名稱 | 類型 | 標案金額 | 招標日期 | 決標日期 | 得標廠商 | 原始公告 |
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| 國立清華大學 | 電漿反應離子蝕刻設備1式 | 決標公告 | 4,950,000 | 2021-12-09 | 2021-12-17 | 決標公告 | |
| 國立臺南大學 | 真空PVD鍍膜設備一台 | 公開招標公告 | 1,120,000 | 2019-12-18 | 2019-12-25 | 決標公告 | |
| 國立交通大學 | 電漿輔助二維半導體材料化學氣相磊晶設備一台 | 公開招標公告 | 10,000,000 | 2018-07-23 | 2018-08-16 | 決標公告 | |
| 國立臺灣科技大學 | 超高真空高功率脈衝磁控濺射系統一組 | 公開招標公告 | 12,000,000 | 2015-12-23 | 2016-01-27 | 決標公告 | |
| 國立成功大學 | 中性束蝕刻與化學汽相沉積(NBE)壹台 | 公開招標公告 | 0 | 2015-10-02 | 2015-10-23 | 決標公告 |